殘余氣體分析儀（RGA）劃分為RGA100、RGA200、RGA300amu三種型號，其優(yōu)異的性能和價值是真空分析儀的**產(chǎn)品。并且SRS提供的殘余氣體分析儀的價格不到同類產(chǎn)品的一半，每一個RGA系統(tǒng)都由一個四級桿探針和電子控制單元組成。實時分析的windows軟件包可以更方便的用于數(shù)據(jù)采集和分析，并可進行遠程控制。

殘余氣體分析儀具體性能參數(shù)如下：

型號

質(zhì)譜范圍：

RGA100：1 to 100 amu

RGA200：1 to 200 amu

RGA300：1 to 300 amu

質(zhì)樸濾波器類型：Quadrupole

探測器類型：Faraday cup (FC), standard Electron multiplier (EM), optional

分辨率：Better than 0.5 amu @ 10 % peak height. Adjustable to constantpeak throughout the mass range.

靈敏度(A/Torr) ：2*10-4(FC), <200 (EM).

探測極限：5*10-11 Torr (FC), 5 *10-14 Torr (EM)

測試范圍：10-4 Torr to UHV (FC) 10-6 Torr to UHV (EM)

操作溫度：70℃(max.)

烘烤溫度：300℃(withoutECU)

離子發(fā)生器

結(jié)構(gòu)：Open ion source, cylindrical symmetry, electron impact ionization

材料：SS304 construction

燈絲：Thoriated iridium (dual) with firmware protection. Built-in 1 to10 W degas ramp-up. Field replaceable.

電子能量：25 to 105 V, programmable

離子能量：8 or 12 V, programmable

焦點電壓：0 to 150 V, programmable

電子輸出電流：0 to 3.5 mA, programmable

規(guī)格

探針尺寸：8.75” from flange face to top of ionizer

探針孔徑：2.0”

探針安裝法蘭:2.75”CF

Minimum tube I.D.：1.375”

ECU尺寸：3.1”*4.1” * 9.1” (WHD). Easily separated from the probe for**out.

LED指示燈：Power ON/OFF, filament ON/OFF, degas ON/OFF, electron multiplier ON/OFF,RS-& 232 Busy, Error, Overpressure, Burnt Filament

預(yù)熱時間：Mass stability &plusmn;0.1 amu after 30 minutes

電腦接口：RS-232C, 28,800 baud with highlevel command set

軟件：Windows based application

電源要求：24 VDC @ 2.5 amps, male DB9 connector, optional built-in powermodule for AC line operation